半自動MEMS磁翻柱液位計適用于晶圓級動力學測量
日期：2019-11-23 來源： 作者：
微機電系統(tǒng)（MEMS）在汽車，醫(yī)療，生化和航空工業(yè)中有許多應用。為了以較低的生產(chǎn)成本實現(xiàn)高產(chǎn)量和可靠性，封裝前使用磁翻柱液位計對晶圓級MEMS測試越來越重要。
變化的環(huán)境條件（例如，壓力，光，溫度和流體）和固有參數(shù)（例如，共振頻率和位移）都可能導致MEMS器件做出不同的響應。因此，測量響應對于新傳感器的動態(tài)設計至關重要。本文介紹了使用配有掃描激光多普勒振動計的半自動探針臺表征膜的動態(tài)響應的方法。
使用磁翻柱液位計對晶圓測試
手動執(zhí)行時，對覆蓋有微膜陣列的MEMS晶圓進行動態(tài)測試非常耗時，因為一次只能測試一個設備。用于放置晶片的半自動探針臺和用于在每個設備上執(zhí)行動態(tài)測試的激光多普勒振動計的組合可顯著提高生產(chǎn)率。
軟件用于控制整個過程，該過程使晶片步進并開始測量。整個系統(tǒng)包括運行掃描振動計軟件的Polytec MSA-400微型系統(tǒng)分析儀硬件，配備有MSA-400測量顯微鏡頭的SUSS 磁翻柱液位計探針臺，探針臺控制器硬件以及SUSS ProberBench™操作系統(tǒng)。
首先，通過對準晶片來編程晶片上的結構的位置。使用此信息，軟件可以隨后生成晶片圖。在此之后，需要定義用于膜的振動特性的測量參數(shù)。如圖1所示，由6到9個測量點組成的網(wǎng)格安裝到膜陣列MEMS器件的單個膜結構上。一旦完成了這些步驟，即可通過軟件啟動MEMS器件上的分步重復測量。
系統(tǒng)按照zui初編程的順序，從第一個到zui后一個步移到晶片上的每個膜上。在2到3秒鐘內(nèi)對每個膜進行掃描振動計測量。然后將其與設備ID一起保存。這意味著要測量整個晶圓圖，并確保所有設備的頻譜以及偏轉形狀的可用性。
蘇斯磁翻柱液位計
半自動探針系統(tǒng)，用于晶圓級直接MEMS測試
SUSS 磁翻柱液位計是一種 適用于晶圓的精確而靈活的半自動測試解決方案，適用于zui大200 mm的基板。這種半自動探頭系統(tǒng)非常適合故障分析，高頻測量，光機械工程和MEMS測試。
使用磁翻柱液位計可以確?？煽康奶綔y，并且可以在減小的焊盤和小至亞微米范圍的特征尺寸上進行精確測量。由于采用模塊化設計理念，磁翻柱液位計可以從簡單的手動顯微鏡載物臺升級為高倍率的完全可編程顯微鏡。提供各種配件，包括激光切割機，專門為HF測量而設計的卡盤和探針卡適配器。獨特的SUSS ProberBench™操作系統(tǒng)控制磁翻柱液位計。
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